Search results for "Furjē transformācijas infrasarkanā spektrometrija"
showing 2 items of 2 documents
FTIR spektrometrijas pielietošana silīcija apstrādes tehnoloģijas novērtēšanai
2018
KEPP EU AS tiek attīstīta un pilnveidota inovatīva silīcija attīrīšanas iekārta. Procesa gaitā izkausētā silīcija masā nonāk skābekļa, oglekļa, vara un alumīnija piemaisījumi, kuru koncentrācijas mazināšanai radītas jaunas iekārtas. Darba mērķis ir pārbaudīt attīrīšanas procesu uzlabojumu ietekmi uz iegūstamā silīcija tīrību, veicot iegūto silīcija kristālu piemaisījumu analīzi ar Furjē transformācijas infrasarkanās spektrometrijas palīdzību. Darbā tiek aplūkotas arī alternatīvās silīcija attīrīšanas metodes, alternatīvās piemaisījumu analīzes metodes, tiek noskaidrotas skābekļa un oglekļa piemaisījumu koncentrācijas analizētajos silīcija paraugos un analizēti to avoti. Iegūtie rezultāti pa…
Silīcija nitrīda dielektrisko pārklājumu fizikāli ķīmisko īpašību izmaiņas jonizējošā starojuma ietekmē
2017
Darbā ir pētīta paātrinātu elektronu un bremzējošā starojuma ietekme uz SiO2-Si3N4-SiO2 un Si3N4 kondensatora dielektrisko slāņu sintezētu uz Si pamatnes virsmas morfoloģiju un ķīmisko sastāvu, elektriskajām īpašībām – reālo kapacitāti, reālo un imagināro dielektrisko caurlaidība. SiO2-Si3N4-SiO2 un Si3N4 apstaroti ar paātrinātiem elektroniem un bremzējošo starojumu absorbēto dozu diapazonā no 3 līdz 30 kGy. Analizētie paraugi atkārtoti apstaroti ar paātrinātajiem elektroniem līdz 1400 kGy. Paraugu starošana veikta LU lineārajā elektronu paātrinātājā ELU-4. Paraugu ķīmiskā sastāva un virsmas reljefa analīze apstarotajiem un neapstarotajiem paraugiem veikta ar pilnīgas iekšējās atstarošanas …